近日,中國半導(dǎo)體材料國際研會(ChinaSemiconductorMaterials International Conference,CSMIC2008)在上海隆重召開。會議由SEMI中國與國家高技術(shù)新材料領(lǐng)域聯(lián)合主辦,CSMIC是迄今為止中國半導(dǎo)體材料和工藝領(lǐng)域最大的國際性專業(yè)技術(shù)研討會。
為期2天的研討會圍繞半導(dǎo)體材料與工藝集成、光刻技術(shù)及相關(guān)材料、CMP與清洗技術(shù)及相關(guān)材料、薄膜電鍍與刻蝕及相關(guān)材料、封裝材料、前沿半導(dǎo)體技術(shù)與材料、硅材料等7個專題內(nèi)容進(jìn)行了研討。來自美國、比利時、法國、德國、日本、韓國、臺灣、非律賓等國家、地區(qū)的多家公司與國內(nèi)半導(dǎo)體材料公司、制造公司的代表交流了材料工藝技術(shù)領(lǐng)域的最新發(fā)展與動態(tài)。本屆研討會共收到技術(shù)論文80多篇,共有261人參加了本次研討會。